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開(kāi)蓋測(cè)試
開(kāi)蓋測(cè)試又稱DECAP,屬于破壞性實(shí)驗(yàn),是使用化學(xué)試劑方法或者激光蝕刻將芯片外部的封裝殼體去掉,用以檢查內(nèi)部晶粒表面的原廠標(biāo)識(shí)、版圖布局、工藝缺陷等,開(kāi)蓋測(cè)試是一種主要的真?zhèn)螜z測(cè)手段,能確定芯片的真實(shí)性、完整性。
芯片開(kāi)封,環(huán)氧樹(shù)脂去除,IGBT硅膠去除,樣品剪薄
IC芯片