服務(wù)項(xiàng)目
Project我們的項(xiàng)目
芯片電路修改
結(jié)構(gòu)觀察
成分分析
光譜能量分析儀
穿透式電子顯微鏡(TEM)
掃描式電子顯微鏡(SEM)
雙束聚焦離子束
穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一種使用高能量電子束讓超薄的樣品成像，影像分辨率可達(dá)0.1奈米的原子等級(jí)，用以觀察材料微結(jié)構(gòu)或晶格缺陷的分析儀器。
（1）顯微結(jié)構(gòu)分析(晶格影像)； （2）結(jié)晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析； （3）元素成分分析； （4）電子繞射圖分析； （5）雜質(zhì)及污染源分析。
半導(dǎo)體、晶圓、半導(dǎo)體
