服務(wù)項(xiàng)目
Project我們的項(xiàng)目
穿透式電子顯微鏡(TEM)
掃描式電子顯微鏡(SEM)
雙束聚焦離子束
穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一種使用高能量電子束讓超薄的樣品成像,影像分辨率可達(dá)0.1奈米的原子等級(jí),用以觀察材料微結(jié)構(gòu)或晶格缺陷的分析儀器。
(1)顯微結(jié)構(gòu)分析(晶格影像); (2)結(jié)晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析; (3)元素成分分析; (4)電子繞射圖分析; (5)雜質(zhì)及污染源分析。
半導(dǎo)體、晶圓、半導(dǎo)體