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服務(wù)項(xiàng)目

Project
材料分析
IC真?zhèn)螜z測(cè)
失效分析
DPA檢測(cè)
開(kāi)發(fā)及功能驗(yàn)證
可靠性驗(yàn)證
電磁兼容(EMC)
化學(xué)分析
產(chǎn)品認(rèn)證
其他檢測(cè)項(xiàng)目

我們的項(xiàng)目

芯片電路修改

結(jié)構(gòu)觀察

成分分析

光譜能量分析儀

穿透式電子顯微鏡(TEM)

掃描式電子顯微鏡(SEM)

雙束聚焦離子束

· 項(xiàng)目描述

穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一種使用高能量電子束讓超薄的樣品成像,影像分辨率可達(dá)0.1奈米的原子等級(jí),用以觀察材料微結(jié)構(gòu)或晶格缺陷的分析儀器。

· 檢測(cè)內(nèi)容

(1)顯微結(jié)構(gòu)分析(晶格影像); (2)結(jié)晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析; (3)元素成分分析; (4)電子繞射圖分析; (5)雜質(zhì)及污染源分析。

· 應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體、晶圓、半導(dǎo)體

· 檢測(cè)設(shè)備