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穿透式電子顯微鏡(TEM)
掃描式電子顯微鏡(SEM)
穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一種使用高能量電子束讓超薄的樣品成像,影像分辨率可達0.1奈米的原子等級,用以觀察材料微結構或晶格缺陷的分析儀器。
(1)顯微結構分析(晶格影像); (2)結晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析; (3)元素成分分析; (4)電子繞射圖分析; (5)雜質(zhì)及污染源分析。
半導體、晶圓