服務(wù)項目
Project我們的項目
剖面/晶背研磨
離子束剖面研磨(CP)
掃描式電子顯微鏡(SEM)
利用砂紙或鉆石砂紙,搭配研磨頭作局部研磨(Polishing),加上后續(xù)的拋光,可處理出清晰的樣品表面。剖面、斷面研磨與晶背研磨(Backside Polishing),都是為了可以銜接后續(xù)的分析檢測。
(1)研磨(Polishing)基本流程 (2)切割:利用切割機(jī)裁將樣品裁切成適當(dāng)尺寸; (3)冷埋:利用混合膠填滿樣品隙縫,增強(qiáng)樣品之結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,避免受研磨應(yīng)力而造樣品毀損; (4)研磨:樣品以不同粗細(xì)之砂紙 (或鉆石砂紙),進(jìn)行研磨; (5)拋光:于絨布轉(zhuǎn)盤上加入適當(dāng)?shù)膾伖庖?,進(jìn)行拋光以消除研磨所殘留的細(xì)微刮痕。
芯片產(chǎn)品,如覆晶封裝( Flip Chip)、鋁/銅制程結(jié)構(gòu)、C-MOS Image Sensor; PCB/PCBA等各種板材或成品;LED成品